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  • 微納電路離子刻系統(tǒng)IBE150 產(chǎn)品型號:IBE150
    微納電路離子刻系統(tǒng)
詳細內(nèi)容

基本參數(shù)

1、刻蝕尺寸:6吋及以下;

2、刻蝕材料:單晶硅、多晶硅、SiO2Si3N4、AlW、Mo和金屬氧化物薄膜等;

3、離子束入射角:0~90°之間任意調(diào)整;

4、Ar+離子能量范圍:100~1000eV,連續(xù)可調(diào);

5、離子束流密度:0~1.0mA/cm2,連續(xù)可調(diào)

6、有效離子束直徑:≥Φ150mm;

7、刻蝕速率:0.02~1.0μm/min;

8、中和裝置:帶有熱絲結(jié)構(gòu)的電子中和裝置;

9、操作方式:工藝過程全自動控制;

10、系統(tǒng)總控:人機界面及觸摸屏控制程序;

11、電 源:220VAC/50Hz,10KW;

12、機器重量:700kg;

13、機器尺寸: D810mm× W1520mm×H1830mm。

 

電源及刻蝕反應(yīng)室

1、電源:直流電源。

2、反應(yīng)室:上蓋啟閉,操作方便,單室;

3、反應(yīng)室規(guī)格:Φ400300mm

4、真空度:≤2×10-4 Pa(腔體充分烘烤除氣,去濕后);

5、抽氣時間:系統(tǒng)充干燥 N2解除真空后短時暴露,大氣壓~ 5×10-3 Pa 時間≤ 30min。

 

真空測量系統(tǒng)及氣體配置

1、真空計:數(shù)顯復(fù)合真空計 1套,測量低真空和高真空;

2、供氣:Ar氣體,進氣壓力0.40.6Mpa,工藝氣體純度為:99.999﹪。

 

冷卻系統(tǒng)

1、配備冷卻水循環(huán)系統(tǒng);

2、保護系統(tǒng):對泵、電極等缺水等異常情況進行報警并執(zhí)行相應(yīng)保護。

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