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  • 微納電路原子沉積機(jī)ALD150 產(chǎn)品型號:ALD150
    微納電路原子沉積機(jī)
詳細(xì)內(nèi)容

1、基片尺寸:6吋及以下;

2、樣品高度:≤6mm;

3、反應(yīng)腔:氮?dú)獗Wo(hù)的高溫密封系統(tǒng);

4、腔體烘烤溫度:RT200℃可控,控制精度±1;

5、沉積模式:連續(xù)模式、停流模式;

6、前驅(qū)體輸運(yùn)系統(tǒng):標(biāo)準(zhǔn) 2 路前驅(qū)體管路,1 路為常溫源,1 路為加熱源;

7、前驅(qū)體源瓶:50cc 不銹鋼標(biāo)準(zhǔn)源瓶;

8、沉積均勻性:Al2O3 均勻性≤±1%;

9、系統(tǒng)總控:人機(jī)界面及全自動控制程序;

10、電源 :220VAC/50Hz,3.3KW;

11、機(jī)器重量:400kg;

12、機(jī)器尺寸:W1110 mm ×D610 mm ×H1210 mm。

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